Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования
Название (англ.):
Installations for final water treatment. General technical requirement
Область применения:
Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции