Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры
Название (англ.):
Direct and angle vacuum valves. Mounting dimensions
Область применения:
Настоящий стандарт распространяется на прямые и угловые клапаны с фланцевыми соединениями, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в степени 5 до 10 в степени минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры для клапанов с условными проходами от 10 до 400 мм ряда R5