Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в дефектоскопии, полиграфии и фотолитографии. Методика поверки
Область применения:
Настоящие рекомендации распространяются на средства измерений характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения технологических источников - радиометры (спектрорадиометры) УФ излучения, основанные на использование фотодиодов, вакуумных фотоэлементов, других фотопреобразователей, область спектральной чувствительности которых ограничена диапазоном длин волн от 0,2 до 1,1 мкм. Настоящие рекомендации устанавливают методику поверки радиометров (спектрорадиометров), используемых для измерения характеристик УФ излучения технологических источников
Дата регистрации:
30.11.01
Дата введения:
01.10.02
Код КГС:
Т84
Код ОКСТУ:
0008
Сходные документы:
Дополнительная информация:
энергетическая освещенность,спектральная чувствительность,средства измерений,ультрафиолетовое излучение,радиометр,спектрорадиометр,технологический источник