Баллоны газовые. Соединения для вентилей газовых баллонов, применяемых в микроэлектронной промышленности. Часть 2. Технические требования и типовые испытания вентилей к соединениям для баллонов
Название (англ.):
Gas cylinders. Gas cylinder valve connections for use in the micro-electronics industry. Part 2. Specification and type testing for valve to cylinder connections
Дата регистрации:
04.10.01
Дата введения:
01.08.01
Код ОКС(МКС):
23.020.30
Нормативные ссылки:
ISO 10297,ISO 11114-1,ISO 11114-2,ISO 11114-3,ISO 11117:1998