Оборудование вакуумное. Соединения вакуумных трубопроводов. Установочные размеры
Название (англ.):
Vacuum equipment. Connections of vacuum pipe-lines. Mounting dimensions
Область применения:
Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины), применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в степени 5 до 10 в степени минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры соединений вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 650 мм ряда R5