Насос магниторазрядный диодный охлаждаемый типа НМДО-01-1 (НОРД-100) с блоком питания типа БП-150. Требования к качеству аттестованной продукции
Название (англ.):
The mater cooled diode type sputter-ion pump НМДО-01-1 (НОРД-100) with the power supply БП-150. Quality requirements for certified products
Область применения:
Настоящий стандарт распространяется на магниторазрядные диодные охлаждаемые насосы типа НМДО-01-1 (НОРД-100) с блоком питания типа БП-150, предназначенные для безмасляной откачки в постах электровакуумных приборов, в печах вакуумного отжига и в ускорителях частиц